NPS超精密模组-纳米级
特征

重现精度:±0.2μm

绝对精度:±1μm

水平直线度:±1.5μm

垂直直线度:±1.5μm

俯仰:±5arc-sec

偏摆:±5arc-sec

奈米级超精密运动控制

低速度涟波平滑运动



  • 基本信息
  • 规格尺寸
  • 配置/性能参数

    直线电机平台

        2奈米

    最小增量控制

    奈米级超精密运动控制

    低速度涟波平滑运动

    高刚性交叉滚子线性滑轨

    高精度线性光学编码器NPS直线电机资料1.png

    NPS超精密模组-纳米级


    NPS直线电机尺寸.png

    NPS超精密模组-纳米级

    NPS直线电机参数.png

    NPS直线电机资料2.png

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