上银科技HIWIN-产品系列
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直线电机:
直线电机模组:
直线电机平台:
世界传动控制产品与系统科技产品的专业制造者,在直线运动和定位领域,上银有着独特的优势,上银在全球有多个研发中心,经过30多年的不断研发生产,质量稳定,客户使用HIWIN的传动控制产品而创新价值、增强竞争力,成为市场赢家;当然也有自我期许成为创新科技的赢家。
Product Center
提供即时影像监控
符合SEMI S2设计标准
符合RoHS规范,
洁净度最高可达ISO Class 1
6" , 8" Open Cassette标准机型
特征
●6" , 8" Open Cassette标准机型
●模组化机架,可依照客户需求调整配置方式
●符合国际半导体设备SEMI S2安全规范
●符合RoHS规范,洁净度最高可达ISO Class 1
●多种感测器侦测各项元件,即时监测设备状态
●GUI介面软体,可远端操作指令,整合各装置子系统,提供单一指令格式窗口
●特色条码、标签及字元辨识,完整追踪生产历程。
●提供即时影像监控。
●高效净化及静电消除等微环境控制,确保传送过程中不受污染。
●自动压力控制系统可以通过环境压力变化,调节风扇转速以保持设定值。
●提供客制化晶圆或其它基板搬运需求。