LMAS汽浮直线电机平台
特征

重现精度:±0.3μm

绝对精度:±3μm

水平直线度:±1μm

垂直直线度:±1μm

俯仰:±2arc-sec

偏摆:±2arc-sec

适用于洁淨室 

低速度涟波


  • 基本信息
  • 规格尺寸
  • 配置/性能参数

    空气轴承定位平台

    针对先端半导体与面板制程设备所开发之奈米空气轴承定位平台。领先同业采用新型真空预压低耗能气浮轴承、动态反作用力平衡与惯性补偿技术,可于千分之一秒内达到奈米误差内要求,大幅减少运动整定时间与组件磨耗率,提升设备生产力与可靠性。完整智能化远程系统侦测与全球客服支持提供,帮助客户大幅缩短设备开发时程,节省许多整合时间与成本,使其更聚焦本身关键制程Know-how。




    空气轴承

    非接触式空气轴承LMAS


    非接触式空气轴承提供更佳的定位精度

    嵌入式磁性预压设计,提升稳定性

    提供极平滑的运动与快速的整定时间

    无铁芯式线性马达,无磁顿力

    高解析回馈搭配线性光学编码器

    提供高绕性的缆线管理

    适用于洁淨室 ,无需润滑好保养

    低速度涟波

    应用于精密定位、校验系统、扫描应用、晶圆检测、无尘环境


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    LMAS非接触式空气轴承直线电机平台

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    LMAS非接触式空气轴承直线电机平台

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